![TOTO 從廚廁產品涉足半導體產業 靜電吸盤成晶圓廠關鍵技術](https://bimg.hitttt.com/dd8_20250206/897791C_0849b4692fbcf7fdcbc23832c7ebc281_cips-694x545.jpg)
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TOTO 這個以高端廚廁產品聞名的日本品牌,近年來不僅專注於傳統業務,更憑藉其獨特技術在半導體產業中嶄露頭角。該公司研發的靜電吸盤(Electrostatic Chuck, ESC),正逐步成為現代晶圓廠內不可或缺的設備。這項技術本來用於廚廁產品,現已成功轉化應用至半導體生產領域,協助晶圓在製程中保持穩定,提高生產效率。
靜電吸盤是一種透過靜電力固定物件的設備,在半導體製造過程中主要用來固定晶圓,確保其在極端精密的製程環境中不會移動。隨著晶圓尺寸的增加,以及極紫外光(EUV)微影技術的應用提升製造精度,對這類高性能固定裝置的需求也隨之上升。TOTO 原本在廚廁產品上使用靜電技術,幫助減少水垢及污垢附著,如今這項技術在晶圓製程設備上發揮出新的價值。TOTO 透過材料科學的創新,使其靜電吸盤具有更強的耐熱性及耐化學性,能夠應對半導體製造過程中的高溫環境與腐蝕性化學物質。此外,其獨家技術讓吸盤在吸附及釋放晶圓時更加穩定,減少對晶圓的損害,提高良率。
隨著半導體需求持續上升,先進製程技術的發展推動了對更精密設備的需求。TOTO 透過這項創新技術,成功打入半導體供應鏈,並獲得全球晶圓廠的關注。目前,台積電(TSMC)、三星(Samsung)及英特爾(Intel)等半導體大廠皆積極尋求提升製程穩定性的方案,而 TOTO 的靜電吸盤成為備受青睞的選擇之一。TOTO 透過跨產業技術應用,發展出多種高科技材料,並且不斷投資於半導體產業的需求研究。內部專門團隊負責半導體相關產品的開發,並與業界龍頭企業合作,確保技術能夠符合晶圓製造業的嚴苛標準。
來源:NIKKEI
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